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煤气发生炉

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真空管式氣相沈積爐
  • 産品名稱:

    真空管式氣相沈積爐

  • 産品簡介:HY真空管式氣相沈積爐主要为应用在半导体,石墨烯、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域
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産品介紹:

※産品用途:
 HY真空管式氣相沈積爐主要为应用在半导体,石墨烯、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。
 ※产品结构:   
1、可通入多種氣體,配100ml混氣罐;
2、爐體采用不鏽鋼密封法蘭(鉸鏈結構),耐高溫、耐腐蝕;
3、保护管采用高纯刚玉管 ,气管采用卡套或VCR接口,安装方便;
5、爐體采用雙層空氣隔熱技術,配有自動冷卻風扇,降低爐體外殼溫度;
6、控制系統采用進口40段程序控溫,控溫精度±1℃,移相觸發、可控矽控制;
7、真空系統6.67pa(機械泵)或6.67pa×10-3pa(擴散泵機組)
8、選配無紙記錄儀,記錄、存儲、顯示當前或曆史溫度曲線,也可通過U盤轉存入電腦。
8、選配虹約智能溫控軟件,通過電腦進行全程監控和操作;
        技術參數    
型號規格 單位 CVD14-50HY CVD14-60HY CVD14-70/80HY CVD14-90HY CVD14-100HY
額定功率 KW 6 6 6 6 6
額定電壓 V 220V 220V 220V 220V 220V
最高溫度 1400 1400 1400 1400 1400
工作溫度 ≤1350 ≤1350 ≤1350 ≤1350 ≤1350
加熱區 mm 350 350 350 350 350
恒溫區 mm 200 200 200 200 200
爐管直徑、長度 mm φ50/1200 φ60/1200 φ80/1200 φ90/1200 φ100/1200
真空度 pa 10p或6*10-3pa 10p或6*10-3pa 10p或6*10-3pa 10p或6*10-3pa 10p或6*10-3pa
氣體通道   三路 三路 三路 三路 三路
流量計種類   質量流量計 質量流量計 質量流量計 質量流量計 質量流量計
A SCCM 0-100 0-100 0-100 0-100 0-100
B SCCM 0-150 0-150 0-150 0-150 0-150
C SCCM 0-200 0-200 0-200 0-200 0-200
混氣罐 V 100ML 100ML 100ML 100ML 100ML
爐膛材料   陶瓷纖維 陶瓷纖維 陶瓷纖維 陶瓷纖維 陶瓷纖維
加熱元件   矽碳棒 矽碳棒 矽碳棒 矽碳棒 矽碳棒
控溫精度 ±1℃ ±1℃ ±1℃ ±1℃ ±1℃
外形尺寸 860*580*1600 860*580*1600 860*580*1600 860*580*1600 860*580*1600
標配件   爐勾 堵頭 石英舟 內六角扳手 高溫手套
選配件   無紙記錄儀 多段智能溫控儀表 擴散泵    

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